红外测温仪要“感知”人体温度，必须有热电堆传感器；智能手机每次语音输入，都要通过声学传感器……随着越来越多智能化交互场景的出现，作为核心零部件的微机电系统（MEMS）逐渐走入日常生活。“如果把集成电路比作大脑，那么MEMS相当于能感知物理世界的五官。”每当谈起自己深耕多年的领域，敏芯股份创始人、董事长李刚总是用一句浅显易懂的描述来开场。伴随着中国MEMS产业从0到1的发展，敏芯也成长为“科创板MEMS第一股”，成为拥有MEMS产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节自主核心技术的平台型企业，以实际行动串起了中国整个MEMS产业链。
2007年落户园区，敏芯发展的起点，恰逢园区布局纳米技术应用产业的起步阶段。没有商业经验、缺乏启动资金，带着一身技术和一腔创业热情的李刚，就这样与园区有了第一次邂逅。随后，李刚团队顺利通过了园区领军人才计划，获得了资金支持。“元禾控股就给了我们一笔百万美元级的投资，推动了公司最初的发展。”李刚说。
当时，国内MEMS没有完整的产业链，敏芯不光缺少研发和分析检测平台，也无法进行晶圆量产代工、封装代工和测试。一边是全力布局新兴产业先手棋的园区，一边是一心要做出“中国芯”的敏芯，双方就此开启了一段携手同进之路。接下来，园区通过引入中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等科研平台，以提供公共平台的模式助力企业研发。同时，引入产业链上下游企业，并借助各项优惠政策给予支持。“后来，政府又建设了中试平台，就这样产业链逐渐完整起来，我们一些产品的小批量中试能顺利完成了。”李刚说。
起步早，往往拥有先发优势，但也意味着要踩无数的“坑”。“不同类型的MEMS传感器拥有不同的机械特性，一种工艺路线只能对应一种传感器，因此芯片和工艺的研发必须同时进行。”李刚说，即使迈过了工艺开发的第一步，M芯片制造的产能利用率及良率也是绕不开的难题。回顾敏芯14年的创业史，李刚认为，每一个艰难的“爬坡”时刻，以元禾控股为代表的“园区力量”始终在他们背后给予支撑。“除直接投资和园区的政策支持外，元禾控股凭借完整的创投生态在企业上市、人才招聘方面给了我们巨大的帮助。”
应用场景涵盖智能手机、平板电脑、智能家居、可穿戴设备等消费电子产品，目前，敏芯除了在消费类电子领域深耕外，也积极向汽车、工控、医疗等领域进军，MEMS声学传感器出货量稳居全球第四。随着物联网和人工智能技术的不断发展，传感器成为物联天下的基础。拥有技术平台优势的敏芯，也将迎来全新机遇。“国内市场大、层次多，新的应用层出不穷，我们相信未来还有很多颠覆的机会，实现‘中国芯’的加速突围。”李刚说。
苏报驻园区首席记者 董捷
《苏州日报》2021年9月14日A03版
