经过三天（3月1-3日）的精彩呈现，今天ChinaMEMS2023第四届中国MEMS制造大会圆满收官。
本届大会由中国半导体行业协会MEMS分会、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳米城主办，苏州纳米科技发展有限公司、MEMSRIGHT、苏州敏芯微电子技术股份有限公司承办。
开幕式——聚焦行业前沿
在3月1日下午的开幕式上，苏州工业园区党工委委员、管委会副主任倪乾，中国半导体行业协会执行秘书长王俊杰分别为大会致辞，指明了MEMS行业发展大方向。
期间举行了“2021年中国MEMS十强企业”颁奖仪式。这十家企业代表了中国MEMS产业发展的头部力量，其中苏州敏芯微电子技术股份有限公司、苏州纳芯微电子股份有限公司两家苏州工业园区企业入选，充分彰显园区MEMS产业发展活力。
行业报告——MEMS发展“指南针”
本届大会共有55场报告，特别邀请到中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，俄罗斯工程院外籍院士、苏州大学教授孙立宁出席大会做主旨报告，报告主题分别为《微纳制造与先进传感技术》、《我国MEMS技术和产业造创新发展》。
中国电科产业基础研究院、MEMS与传感器产业联盟、BoschSensortec、SilexMicrosystems、中国兵器工业集团、华登国际、赛迪顾问、江苏省产研院纳米应用所、中科院苏州纳米所、厦门云天半导体、苏州敏芯微电子、中国电子科技集团、左蓝微电子、爱发科、华润微电子、美新半导体等MEMS领域重点科研院所高校、行业龙头企业、投资机构的代表参会，从技术研发、工艺讲解、特色应用、行业发展解析、市场风向研判等不同角度和与会嘉宾展开深入的研讨。
这些大专家的报告都将成为我国MEMS行业企业发展的宝贵指南，有效促进我国MEMS技术与产业发展。
分会场——显示、硅光子两大方向
延续上一届成功举办分会场的经验，本届大会继续举显示、硅光子两场分会场。KLA（科磊半导体）、欧洲硅基光电子学联盟、上海微技术工研院、烟台睿创、北京一径科技、西安知微传感、北京摩尔芯光等15家单位，聚焦MEMS3D显示器件工艺与市场、红外成像技术与应用、MEMS硅光子器件工艺与市场等主题分享了报告。两个分会虽然在第三天举办，还有制造专题的主报告会场同时进行，但现场依然座无虚席，人气不输首日。
专题论坛——进一步丰富大会内涵
大会同期举办3个MEMS专题论坛，其中ULVAC压电MEMS薄膜制造解决方案会深入探讨了PZT压电薄膜工艺技术在MEMS领域的前沿应用；长三角MEMS传感器产业发展状况圆桌会，众多专家为长三角MEMS企业在产业链融合创新发展献计献策；MEMS产业知识产权联盟第二届成员大会全面提升联盟工作成效，打造优异交流平台。会议期间，70余位产业界、投资界、应用端特邀嘉宾参加MEMS之夜专场活动，现场氛围热烈。
三天时间内，本届中国MEMS制造大会给业界呈现了一个质量更高、亮点更多、内容更丰富的MEMS领域顶级盛会，有效推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈。
编辑 园网
2023年3月3日
